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半导体石英坩埚生产用高纯石英砂
发布日期: 2024-04-29
实施日期: 2024-05-14
本文件规定了半导体石英坩埚生产用高纯石英砂的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。 本文件适用于半导体石英坩埚生产用高纯石英砂
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发布单位或类别: 中国-团体标准
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