首页 馆藏资源 标准快讯 标准数字化 呈缴征集 标准服务 关于我们
珍贵馆藏 国家标准 行业标准 地方标准 团体标准 国际（区域）标准 国外国家标准 国际性专业标准 技术法规
国内快讯 国际快讯 标准速递 馆藏上新
组织建设 标准研制 科研工作 系统工具 蓝皮书
国标呈缴 自愿呈缴 藏品征集
文献服务 知识服务 服务站点 专题服务
国家标准馆 国家数字标准馆 发展大事记
现行 GB/T 42158-2023
到馆提醒
收藏跟踪
购买正版
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
发布日期： 2023-03-17
实施日期： 2023-07-01
本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构,并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1μm~100μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5μm~150μm、深宽比为0.0067~20。棱锥式针结构具有三个或四个面,其高度、横向宽度和纵向宽度为2um或更大,并且外轮廓尺寸可包含于边长为100um的立方体内。本文件适用于 MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估
分类信息
发布单位或类别： 中国-国家标准
CCS分类： L59电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微型组件
ICS分类： 31.080.99半导体分立器件 - 其他半导体分立器件
关联关系
研制信息
归口单位： 全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位： 苏州市质量和标准化院、 中机生产力促进中心有限公司、 苏州揽芯微纳科技有限公司、 东南大学、 苏州市标准化协会、 美满芯盛（杭州）微电子有限公司、 深圳市中图仪器股份有限公司、 四川富生电器有限责任公司、 深圳市美思先端电子有限公司、 中国合格评定国家认可中心、 深圳市道格特科技有限公司
起草人： 张硕、 顾枫、 李根梓、 沈俊杰、 俞骁、 周再发、 王敏锐、 贾建国、 许百宏、 许克宇、 王志远、 刘志广
相似标准/计划/法规
现行
GB/T 44839-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials
2024-10-26
现行
GB/T 44529-2024
微机电系统（MEMS）技术 射频MEMS环行器和隔离器
Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Radio frequency MEMS circulators and isolators
2024-09-29
现行
GB/T 42896-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS
2023-08-06
现行
GB/T 44531-2024
微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Technical specification of automotive grade pressure sensor based on MEMS technology
2024-09-29
现行
GB/T 42895-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS
2023-08-06
现行
GB/T 38341-2019
微机电系统(MEMS)技术　MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
2019-12-31
现行
GB/T 44513-2024
微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
2024-09-29
现行
GB/T 44842-2024
微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法
Micro-electromechanical systems （MEMS） technology—Bend testing methods of thin film materials
2024-10-26
现行
GB/T 44515-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
2024-09-29
现行
GB/T 42897-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
2023-08-06
现行
GB/T 44849-2024
微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
2024-10-26
现行
GB/T 34898-2017
微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
2017-11-01
现行
GB/T 38447-2020
微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
2020-03-06
现行
GB/T 44514-2024
微机电系统（MEMS）技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials
2024-09-29
现行
GB/T 44919-2024
微机电系统(MEMS)技术　薄膜力学性能的鼓胀试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
2024-11-28
现行
GB/T 44517-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
2024-09-29
现行
GB/T 34893-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
2017-11-01
现行
GB/T 34894-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
2017-11-01
现行
GB/T 34900-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for residual strain measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
2017-11-01
  • 关于国家数字标准馆
  • 《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。
    • 关于我们
    文献服务
  • 查标准
  • 看标准
  • 买标准
  • 译标准
  • 订单查询
    • 知识服务
  • 查新颖性
  • 查有效性
  • 跟踪标准
  • 比对标准
    • 标准数字化
  • 专题数据库
  • 标准管理系统
  • 大数据分析系统
  • 标准智能编写系统
    • 地址：北京市海淀区知春路4号
    技术支持：010-58811974/1972/1360/1341/1328
    邮箱：service@cnis.ac.cn
    访问量： 自2024年10月至今总访问量
    出版物经营许可证：新出发京批字第直170229号
    备案号：
    京ICP备10046988号-46 京公网安备11010802045562号
    ️版权归中国标准化研究院所有