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微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
发布日期： 2020-03-06
实施日期： 2020-10-01
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控
分类信息
发布单位或类别： 中国-国家标准
CCS分类： L55电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微电路综合
ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学
关联关系
研制信息
归口单位： 全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位： 北京大学、 中机生产力促进中心、 北京智芯传感科技有限公司、 无锡华润上华科技有限公司、 中北大学、 北京必创科技股份有限公司
起草人： 张威、 李海斌、 张亚婷、 朱悦、 夏长奉、 石云波、 陈得民、 马书嫏、 程红兵、 周浩楠
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