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现行 T/JSSES 16-2021
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集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法 Technical requirements and test method for comprehensive utilization of waste sulfuric acid in integrated circuit manufacturing industry
发布日期: 2021-05-28
实施日期: 2021-06-28
项 目 指 标 硫酸(H2SO4)质量分数/% ≥50 过氧化氢质量分数/% ≤0.1 灰分质量分数/% ≤0.05 铜(Cu)质量指标/% ≤0.0005 铁(Fe)质量分数/% ≤0.01 砷(As)质量分数/% ≤0.0005 铅(Pb)质量分数/% ≤0.01 汞(Hg)质量分数/% ≤0.005 镉(Cd)质量分数/% ≤0.0005 铬(Cr)质量分数/% ≤0.0025 镍(Ni)质量分数/% ≤0.0025 总有机碳(TOC)/(mg/L) ≤500 透明度/mm ≥30
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