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现行 YS/T 1392-2020
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氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
发布日期: 2020-12-09
实施日期: 2021-04-01
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围(体积分数):二氯二氢硅为0.01 %~20 %,三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %~100 %
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