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微机电系统(MEMS)技术　薄膜力学性能的鼓胀试验方法 Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
发布日期： 2024-11-28
实施日期： 2024-11-28
分类信息
发布单位或类别： 中国-国家标准
CCS分类： L59电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微型组件
ICS分类： 31.080.99半导体分立器件 - 其他半导体分立器件
关联关系
研制信息
归口单位： 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位： 中国科学院微电子研究所、 中机生产力促进中心有限公司、 苏州容启传感器科技有限公司、 武汉大学、 北京大学、 昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、 苏州晶方半导体科技股份有限公司、 苏州慧闻纳米科技有限公司、 工业和信息化部电子第五研究所、 深圳市美思先端电子有限公司、 东南大学、 芯联集成电路制造股份有限公司、 中关村光电产业协会、 华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、 上海交通大学、 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司、 武汉高德红外股份有限公司
起草人： 周维虎、 李根梓、 孙宏霖、 刘胜、 霍树春、 高成臣、 焦斌斌、 陈立国、 杨剑宏、 张平平、 陈志文、 陈思、 马龙全、 黄庆安、 聂萌、 谢红梅、 陈晓梅、 卢永红、 张红旗、 刘景全、 高峰、 黄晟
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