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微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials
发布日期： 2024-10-26
实施日期： 2025-02-01
分类信息
发布单位或类别： 中国-国家标准
CCS分类： L59电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微型组件
ICS分类： 31.080.99半导体分立器件 - 其他半导体分立器件
关联关系
研制信息
归口单位： 全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位： 中国科学院微电子研究所、 中机生产力促进中心有限公司、 苏州容启传感器科技有限公司、 武汉大学、 北京大学、 上海交通大学、 昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、 苏州晶方半导体科技股份有限公司、 东南大学、 苏州慧闻纳米科技有限公司、 中关村光电产业协会、 工业和信息化部电子第五研究所、 昆山双桥传感器测控技术有限公司、 芯联集成电路制造股份有限公司、 深圳市道格特科技有限公司
起草人： 周维虎、 李根梓、 孙宏霖、 刘胜、 霍树春、 高成臣、 刘景全、 陈立国、 杨剑宏、 陈志文、 焦斌斌、 黄庆安、 聂萌、 张平平、 陈晓梅、 卢永红、 陈思、 王冰、 谢红梅、 刘志广
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