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微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法 Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
发布日期： 2024-10-26
实施日期： 2025-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国-国家标准
CCS分类： L59电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微型组件
ICS分类： 31.080.99半导体分立器件 - 其他半导体分立器件
关联关系
研制信息
归口单位： 全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位： 合肥美的电冰箱有限公司、 中机生产力促进中心有限公司、 无锡华润上华科技有限公司、 苏州大学、 微纳感知（合肥）技术有限公司、 宁波科联电子有限公司、 西北工业大学、 美的集团股份有限公司、 深圳市美思先端电子有限公司、 华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所）、 上海临港新片区跨境数据科技有限公司、 北京晨晶电子有限公司、 安徽北方微电子研究院集团有限公司
起草人： 曹诗亮、 李根梓、 马卓标、 胡永刚、 孙立宁、 许磊、 王雄伟、 王学文、 王春举、 钱峰、 张森、 武斌、 张红旗、 张启心、 汤一、 陈林、 王文婧
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BS EN 62047-14. Semiconductor devices. Micro-electromechanical systems. Part 14. Forming limit measuring method of metallic film materials
英国标准EN 62047-14 半导体器件 微机电系统 第14部分 金属薄膜材料成形极限测量方法
2010-07-19
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