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DB3202/T 1033-2022
硅集成电路芯片制造企业职业病危害预防控制技术规范
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发布单位或类别：江苏省地方标准
发布日期： 2022-07-20
CCS分类：C52劳动卫生
现行
GB/T 38341-2019
微机电系统(MEMS)技术　MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
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Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2019-12-31
CCS分类：L55微电路综合
未生效
GB/T 47767-2026
微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2026-07-02
CCS分类：L59微型组件
未生效
GB/T 47752-2026
微机电系统（MEMS）技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2026-07-02
CCS分类：L59微型组件
未生效
GB/T 47753-2026
微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范
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Micro-electro mechanical systems（MEMS）technology—Technical specification of automotive MEMS semiconductor gas sensor
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2026-07-02
CCS分类：L55微电路综合
正在起草
20251992-T-469
微机电系统（MEMS）技术 制造能力评估 第3部分：晶圆制造
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Micro-electromechanical system (MEMS) technology—Mmanufacturing capability assessment—Part 3：Wafer manufacturing
发布单位或类别：国家标准计划
下达日期： 2025-07-01
CCS分类：
正在征求意见
20254926-Z-469
微机电系统（MEMS）技术 电容式加速度传感器（111）硅晶圆单面制备工艺规范
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Specifications of single-sided process for capacitive acceleration sensor in (111) silicon wafer
发布单位或类别：国家标准计划
下达日期： 2025-08-28
CCS分类：
未生效
GB/T 47768-2026
微机电系统（MEMS）技术 玻璃浆料键合强度的微型V形试验（MCT）测量方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Bond strength test for glass frit bonded structures using micro-chevron-tests (MCT)
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2026-07-02
CCS分类：L55微电路综合
未生效
GB/T 47749-2026
微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法
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Micro-electromechanical system (MEMS) technology—Test method for coefficient of linear thermal expansion of micro-electromechanical solid-state material
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2026-07-02
CCS分类：L55微电路综合
现行
GB/T 44514-2024
微机电系统（MEMS）技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-09-29
CCS分类：L59微型组件
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