首页 馆藏资源 标准快讯 标准数字化 呈缴征集 标准服务 关于我们
搜索
高级检索
批量检索
标准层级
全部
国家标准
行业标准
地方标准
团体标准
国际(区域)标准
国外国家标准
国际性专业标准
技术法规
国家
全部
中国(13)
标准组织
全部
国家标准(12)
国家标准研制计划(1)
发布年代
全部
2026(6)
2025(1)
2024(2)
2023(2)
2016(1)
2012(1)
标准状态
全部
未生效(6)
现行(6)
ICS
全部
31电子学(13)
CCS
全部
L电子元器件与信息技术(12)
展开全部分类
  • 排序结果:
  • 相关性
  • 标准号
  • 发布时间
正在征求意见
20254927-Z-469
微机电系统(MEMS)技术 芯片封装凸点高度测量方法 光学三角法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Height measurement method of bumps in chip packaging—Optical triangulation method
发布单位或类别:国家标准计划
下达日期: 2025-08-28
CCS分类:
未生效
GB/T 47767-2026
微机电系统(MEMS)技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2026-07-02
CCS分类:L59微型组件
未生效
GB/T 47752-2026
微机电系统(MEMS)技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2026-07-02
CCS分类:L59微型组件
未生效
GB/T 47753-2026
微机电系统(MEMS)技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范
Micro-electro mechanical systems(MEMS)technology—Technical specification of automotive MEMS semiconductor gas sensor
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2026-07-02
CCS分类:L55微电路综合
未生效
GB/T 47768-2026
微机电系统(MEMS)技术 玻璃浆料键合强度的微型V形试验(MCT)测量方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Bond strength test for glass frit bonded structures using micro-chevron-tests (MCT)
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2026-07-02
CCS分类:L55微电路综合
未生效
GB/T 47749-2026
微机电系统(MEMS)技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法
Micro-electromechanical system (MEMS) technology—Test method for coefficient of linear thermal expansion of micro-electromechanical solid-state material
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2026-07-02
CCS分类:L55微电路综合
现行
GB/T 42158-2023
微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
Micro-electromechanical systems technology(MEMS) —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-03-17
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 44517-2024
微机电系统(MEMS)技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 42597-2023
微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪
Micro-electromechanical systems technology—Gyroscopes
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-05-23
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 32815-2016
硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2016-08-29
CCS分类:L55微电路综合