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GB/T 47767-2026
微机电系统(MEMS)技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2026-07-02
CCS分类:L59微型组件