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SJ/T 11490-2015
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低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法
Test method for measuring etch pit density (EPD) in low dislocation density gallium arsenide wafers
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
本标准规定了低位错密度砷化镓(GaAs)抛光片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法