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微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法 Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
发布日期： 2026-07-02
实施日期： 2027-02-01
分类信息
发布单位或类别： 中国-国家标准
CCS分类： L59电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微型组件
ICS分类： 31.080.99半导体分立器件 - 其他半导体分立器件
关联关系
研制信息
归口单位： 全国微机电技术标准化技术委员会、全国集成电路标准化技术委员会
起草单位： 合肥华凌股份有限公司、 中机生产力促进中心有限公司、 宁波科联电子有限公司、 中北大学、 长虹美菱股份有限公司、 广州自平测控科技有限公司、 海信集团控股股份有限公司、 上海新微技术研发中心有限公司、 无锡小天鹅电器有限公司、 北京智芯微电子科技有限公司、 北京晨晶电子有限公司、 广州天极电子科技股份有限公司、 无锡华润上华科技有限公司、 西北工业大学、 东南大学、 成都航天凯特机电科技有限公司、 中国电力科学研究院有限公司、 北京大学、 苏州大学、 四川长虹虹微科技有限公司、 美的集团股份有限公司、 无锡吴越物芯科技有限公司
起草人： 余燕、 李根梓、 史进东、 王俊强、 杨浩、 马卓标、 曹诗亮、 卢奕鹏、 张革、 方东明、 张云辉、 张舒楠、 王科、 程宇心、 王春举、 卢敏仪、 夏长奉、 周再发、 闫晓剑、 熊贵林、 董接莲
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